郑伟民

作品数：2被引量：5H指数：2
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供职机构：西安理工大学机械与精密仪器工程学院晶体生长设备研究所更多>>
发文主题：磁场逻辑演进硅工艺特点机械结构更多>>
发文领域：理学化学工程冶金工程更多>>
发文期刊：《电子工业专用设备》《人工晶体学报》更多>>
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新型硅芯晶体炉的开发与设计被引量：3
《电子工业专用设备》2005年第8期7-9,12,共4页董淑梅 李言 王建春 郑伟民 
从分析硅芯晶体生长的工艺特点出发,简要介绍了硅芯晶体生长设备的设计思想以及新近开发设计的新型硅芯晶体炉的机械结构及电气控制系统。
关键词：硅芯炉 工艺特点 机械结构 电气控制 
论直拉单晶炉技术平台的逻辑演进被引量：2
《人工晶体学报》2004年第3期448-454,共7页许扬 赵一谦 李剑侠 郑伟民 田炜 丁积军 
要求不断增大晶棒直径、不断提高晶体质量的晶圆市场 ,推动我国直拉单晶炉产品系列出现过三代更替 ,与此对应 ,产品赖以存在的技术平台也经历了三个阶段的演进。第四代产品研发需要在以往技术积累基础上 ,在炉室材料、炉体结构、焊接工...
关键词：直拉单晶炉 生长工艺 热场材料 磁场 密封方式 晶间敏化 焊接方法 
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