陈文华

作品数:1被引量:1H指数:1
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发文主题:程序升温脱附SUB机械清洗多晶铜热脱附更多>>
发文领域:一般工业技术更多>>
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H_2O在多晶铜表面的热脱附研究被引量:1
《真空科学与技术学报》1989年第4期249-253,248,共6页陈文华 杨一新 庞世瑾 T.梅台 
利用热脱附技术研究了80K下H_2O在多晶铜表面的吸附特性,结合程序升温脱附技术、高倍数光学显微镜、扫描电子显微镜和表面粗糙度因子对经三种不同方法(机械清洗、电抛光、化学清洗)处理的多晶铜表面进行了综合考察,得到了一些新的结果。
关键词:热脱附 H2O 铜表 程序升温脱附 机械清洗 光学显微镜 化学清洗 扫描电子显微镜 表面粗糙度 综合考察 
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