孙晓松

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红外探测器PT薄膜的实验研究
《重庆建筑工程学院学报》1994年第3期13-16,共4页孙晓松 孙晓楠 
对用于红外探测器和光声电子器件的ＰＴ薄膜的制备工艺及热处理过程进行了实验研究，对多离子束反应共溅射法制备薄膜，作了相应的ｘ衍射、ＸＰＳ能谱及ＥＰＭＡ分析。通过实验，成功地除去了薄膜中ＰｂＯ和焦绿石杂质，并改善了ＰｂＴ...
关键词：红外探测器 PT薄膜 实验 制备 
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