朱德明

作品数：1被引量：3H指数：1
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供职机构：上海理工大学更多>>
发文主题：太阳能电池纳米天线纳米硅电子束蒸发法透明导电薄膜更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊：《物理学报》更多>>
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基于P掺杂SiO_2为栅介质的超低压侧栅薄膜晶体管被引量：3
《物理学报》2013年第11期457-461,共5页朱德明 门传玲 曹敏 吴国栋 
浙江省自然科学基金(批准号:0804201051)资助的课题~~
在室温下利用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)制备的颗粒膜P掺杂SiO2为栅介质,使用磁控溅射方法利用一步掩模法制备出一种新型结构的侧栅薄膜晶体管.由于侧栅薄膜晶体管具有独特的结构,在射频磁控溅射过程中,仅仅利用一块镍掩模板,...
关键词：P掺杂SiO2 侧栅薄膜晶体管 双电层(EDL) 超低压 
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