曹敏

作品数：2被引量：3H指数：1
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供职机构：上海理工大学能源与动力工程学院更多>>
发文主题：太阳能电池CDS薄膜纳米天线纳米硅电子束蒸发法更多>>
发文领域：一般工业技术电子电信更多>>
发文期刊：《半导体光电》《物理学报》更多>>
所获基金：浙江省自然科学基金上海市自然科学基金更多>>
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CdS薄膜的真空热蒸发制备及在CIGS薄膜太阳电池中的应用
《半导体光电》2014年第2期253-257,262,共6页曹敏 门传玲 邓闯 田子傲 安正华 
上海市自然科学基金项目(13ZR1428200)
采用真空热蒸发（VTE）的方法制备了CdS多晶薄膜，研究了不同衬底温度对其微观结构与光电性能的影响。结果显示，不同衬底温度下制备的CdS薄膜均属于六方相多晶结构且具有（002）择优取向；随着衬底温度的升高，（002）特征衍射峰强度...
关键词：CDS薄膜 真空热蒸发 CIGS薄膜太阳电池 化学水浴 磁控溅射 
基于P掺杂SiO_2为栅介质的超低压侧栅薄膜晶体管被引量：3
《物理学报》2013年第11期457-461,共5页朱德明 门传玲 曹敏 吴国栋 
浙江省自然科学基金(批准号:0804201051)资助的课题~~
在室温下利用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)制备的颗粒膜P掺杂SiO2为栅介质,使用磁控溅射方法利用一步掩模法制备出一种新型结构的侧栅薄膜晶体管.由于侧栅薄膜晶体管具有独特的结构,在射频磁控溅射过程中,仅仅利用一块镍掩模板,...
关键词：P掺杂SiO2 侧栅薄膜晶体管 双电层(EDL) 超低压 
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