邓闯

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供职机构：上海理工大学能源与动力工程学院更多>>
发文主题：磁控溅射CIGS薄膜太阳电池CDS薄膜真空更多>>
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CdS薄膜的真空热蒸发制备及在CIGS薄膜太阳电池中的应用
《半导体光电》2014年第2期253-257,262,共6页曹敏 门传玲 邓闯 田子傲 安正华 
上海市自然科学基金项目(13ZR1428200)
采用真空热蒸发（VTE）的方法制备了CdS多晶薄膜，研究了不同衬底温度对其微观结构与光电性能的影响。结果显示，不同衬底温度下制备的CdS薄膜均属于六方相多晶结构且具有（002）择优取向；随着衬底温度的升高，（002）特征衍射峰强度...
关键词：CDS薄膜 真空热蒸发 CIGS薄膜太阳电池 化学水浴 磁控溅射 
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