林小园

作品数:1被引量:1H指数:1
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供职机构:南开大学更多>>
发文主题:AZO散射特性薄膜厚度湿法刻蚀AAO模板更多>>
发文领域:理学电气工程更多>>
发文期刊:《光电子.激光》更多>>
所获基金:中央高校基本科研业务费专项资金教育部重点实验室开放基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
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ZnO多晶薄膜绒面结构及陷光特性分析被引量:1
《光电子.激光》2013年第3期523-529,共7页林小园 黄茜 张德坤 牟村 赵颖 张存善 张晓丹 
国家重点基础研究发展计划(2011CBA00706);国家高技术研究发展计划(2011AA050503);教育部重点实验室开放基金(2011KFKT06);中央高校基本科研业务费专项资金(65011981)资助项目
针对当前薄膜太阳电池对光管理的迫切需求,采用磁控溅射及后腐蚀技术制备获得了高性能绒面铝掺杂氧化锌(AZO,ZnO:Al)前电极。深入分析了ZnO多晶薄膜厚度及腐蚀时间对绒面结构及陷光特性的影响。研究结果表明,随多晶薄膜厚度的增加,晶粒...
关键词:绒面掺铝氧化锌(AZO) 绒度 散射特性 薄膜厚度 湿法刻蚀 
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