桂敏

作品数：1被引量：3H指数：1
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供职机构：南开大学更多>>
发文主题：测量法表面形貌傅里叶变换基于相位位相光栅更多>>
发文领域：自动化与计算机技术更多>>
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基于相位测量法测量透射式相位光栅的表面形貌被引量：3
《光电子．激光》2009年第10期1337-1341,共5页桂敏 匡登峰 方志良 
建立了一套基于马赫-曾德尔干涉仪的测量系统,获得了透射式相位光栅的相位信息并推算出光栅的表面形貌。给出了相位测量法的基本原理,运用傅里叶变换法和相位解包裹技术,对实验系统采集的干涉图的相位信息进行处理并计算出光栅的高度、...
关键词：位相光栅 位相测量 傅里叶变换 位相解包裹 
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