云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 燕少安

燕少安: 作品数：1被引量：0H指数：0; 导出分析报告; 供职机构：湘潭大学更多>>; 发文主题：铁电氧化铪反相器单粒子效应电子束蒸发更多>>; 发文领域：电子电信自动化与计算机技术文化科学一般工业技术更多>>; 发文期刊：《现代应用物理》更多>>; 所获基金：国家自然科学基金湖南省教育厅重点项目更多>>

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溶胶-凝胶法制备的Pt/Bi_(3.15)Nd_(0.85)Ti_3O_(12)/SrTiO_3/Si电容结构及其性能研究: 《现代应用物理》2014年第4期294-298,共5页郭纯维马颖燕少安周益春; 国家自然科学基金资助项目(11172257;61176093); 采用溶胶-凝胶法制备了Pt/Bi3.15Nd0.85Ti3O12/SrTiO3/Si多层电容即金属-铁电层-绝缘层-半导体结构,并对其电学性能进行了测试与分析。获得的存储窗口电压约为2.5V,漏电流密度低于10-8 A·cm-2,保持时间达7.5h以上。制备的SrTiO3薄膜表...; 关键词：溶胶-凝胶法金属-铁电层-绝缘层-半导体结构钛酸锶薄膜钛酸铋钕薄膜存储窗口