耿会娟

作品数：1被引量：1H指数：1
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发文主题：反应温度纳米线体液水热法晶体硅太阳电池更多>>
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晶体硅太阳电池的双层结构钝化膜研究被引量：1
《微纳电子技术》2012年第8期498-502,556,共6页李翔 耿会娟 张亚非 
国家科技项目(2011AA050504);SJTU-UM基金资助项目
针对目前基于p型硅片制备的单结太阳电池进一步提高表面钝化膜生产效率,利用氮化硅(SiNx)薄膜良好的钝化效果与价格低廉的二氧化钛(TiO2)膜,降低SiNx镀膜厚度减薄对少子寿命的影响。在单晶硅片表面先用PECVD法沉积SiNx薄膜,然后用热喷...
关键词：太阳电池 减反射 钝化 TIO2 SINX 
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