谢承科

作品数：4被引量：15H指数：2
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供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文主题：光刻机起偏器生物免疫光学系统免疫层析更多>>
发文领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术生物学更多>>
发文期刊：《光学学报》《光子学报》《中国激光》更多>>
所获基金：上海市自然科学基金更多>>
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高精度深紫外光学透射率测量装置的研制被引量：1
《中国激光》2016年第3期169-175,共7页陈明 谢承科 杨宝喜 黄惠杰 
为了精确控制曝光剂量,需要精确测量光刻系统的光学透射率。采用了双光路对比的方法进行透射率测量,有效地消除了准分子激光器能量波动带来的透射率测量误差。并通过加入起偏器,消除了准分子激光器偏振态不稳定带来的误差。搭建了深紫...
关键词：物理光学 深紫外 透射率测量 双路对比 重复性 高精度 
准分子激光脉冲能量探测器的设计与性能测试被引量：5
《中国激光》2015年第1期61-68,共8页谢承科 陈明 杨宝喜 黄惠杰 
在以准分子激光为光源的步进扫描投影光刻机中，为了精确控制曝光剂量，需要用能量探测器实时、精确地监测单个激光脉冲的能量。研制了一种主要由聚光镜、积分棒、特殊晶体、滤光片、光电探测器和信号处理电路组成的准分子激光脉冲能量...
关键词：探测器 准分子激光 脉冲整形 重复性 线性度 
基于色氨酸本征荧光测量的生物气溶胶检测技术研究被引量：8
《光学学报》2012年第5期119-124,共6页蔡舒窈 张佩 朱玲琳 谢承科 孙征宇 程伟林 赵永凯 黄惠杰 
上海市自然科学基金(11ZR1441700)资助课题
生物气溶胶与环境质量和人类健康密切相关。基于光学测量的气溶胶检测技术具有快速、无损和灵敏的优点,是目前的研究主流。而对检测系统的标定技术及其评价方法尚无国家标准可依。基于本征荧光测量技术,研制完成了一套针对包括病毒气溶...
关键词：测量 生物气溶胶检测 本征荧光 标定 色氨酸 
上转换磷光生物传感器信号处理算法被引量：1
《光子学报》2009年第12期3256-3260,共5页谢承科 张友宝 黄立华 屈建峰 郭小娴 黄惠杰 
为了提高上转换磷光生物传感器的工作效率和自动化程度,将互相关滤波技术用于对传感器采集到的信号进行预处理,基于预处理后的信号特征提出了一种简单有效的自适应边界提取算法.该算法可对免疫层析试纸条功能带(包括检测带T和质控带C)...
关键词：光学传感器 上转换磷光技术 互相关滤波 自适应边界提取算法 重复性 
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