赵永生

作品数：3被引量：19H指数：3
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发文主题：纳米复合涂层擦拭刻度尺指针摆动直尺更多>>
发文领域：金属学及工艺一般工业技术更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》《机械工程材料》更多>>
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Si含量对TiAlSiN纳米复合涂层的微观结构和力学性能的影响被引量：8
《上海有色金属》2014年第2期52-56,共5页李伟 赵永生 刘平 马凤仓 刘新宽 陈小红 何代华 王贝贝 康祎炜 
上海市自然科学基金项目(11ZR1424600);上海市教委重点学科项目(J50503)
采用不同Si含量的TiAlSi复合靶,在Si基底片上用射频磁控溅射工艺沉积了TiAlSiN纳米复合涂层,采用X射线衍射仪(XRD)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)和纳米压痕技术研究了Si含量对TiAlSiN涂层的微观结构和力学性能的影响.结果表明:TiAlSiN...
关键词：TiAlSiN纳米复合涂层 SI含量 微观结构 力学性能 
射频磁控溅射法制备TiSiN纳米复合涂层的结构与性能研究被引量：4
《真空科学与技术学报》2014年第3期245-250,共6页赵永生 李伟 刘平 马凤仓 刘新宽 陈小红 何代华 
上海市自然科学基金项目(11ZR1424600);上海市教委重点学科项目(J50503)
采用射频磁控溅射工艺在Si基体上制备了TiN/Si3N4纳米复合结构涂层。对不同溅射气压、基片温度以及N2/Ar气流比条件下制备的TiN/Si3N4纳米复合涂层的结构和性能进行了研究和分析。结果表明:溅射气压、基片温度和N2/Ar气流比对TiN/Si3N4...
关键词：TIN Si3N4复合涂层 气压 温度 N2 Ar气流比 
TiSiN纳米复合结构涂层的研究进展被引量：9
《机械工程材料》2013年第6期6-10,38,共6页赵永生 李伟 刘平 马凤仓 刘新宽 陈小红 何代华 
上海市自然科学基金资助项目(11ZR1424600);上海市教委重点学科项目(J50503)
简要介绍了TiSiN纳米复合涂层的晶体结构,主要从涂层的性能、制备方法、硅含量以及其它元素掺杂的影响等方面综述了TiSiN纳米复合涂层的研究进展,最后对其存在的主要问题和今后的发展方向进行了总结和展望。
关键词：TiSiN涂层 纳米复合结构 制备工艺 研究进展 
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