赵洪杰

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一种光电器件几何参数测试方法
《光电对抗与无源干扰》2003年第1期32-34,共3页赵洪杰 孙洪拓 
简单介绍了光电器件几何参数,找到了一种测试工具—万能工具显微镜,探讨了用新工具测试几何参数的方法,有效解决了深度测量的难题。
关键词：光电器件 万能工具显微镜 
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