陆殷华

作品数：2被引量：4H指数：1
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供职机构：南京大学电子科学与工程学院超导电子研究所更多>>
发文主题：隧道结超导隧道结铝电子束蒸发制备更多>>
发文领域：理学一般工业技术电气工程更多>>
发文期刊：《低温物理学报》《低温与超导》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
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利用倾斜角度蒸发法制备Al/Al_2O_3/Al超导隧道结被引量：3
《低温物理学报》2010年第3期175-177,共3页陆殷华 许伟伟 沈丹丹 孙国柱 梁敏 曹春海 吴培亨 
国家自然科学基金(批准号:10874074;60571007);教育部博士点基金(批准号:200802840031)资助的课题
利用电子束曝光法对双层光刻胶进行曝光来制备悬空掩模结构,在此基础上利用电子束蒸发系统采用倾斜角度蒸发法制备铝超导薄膜,采用热氧化法在底层铝膜表面形成氧化铝作为势垒层,制备出铝SIS超导隧道结,并在360mK的情况下对铝结进行了Ⅰ...
关键词：Al/Al_2O_3/Al隧道结 双层光刻胶 悬空掩模结构 
利用电子束蒸发制备铝隧道结工艺研究被引量：1
《低温与超导》2009年第2期32-35,共4页张静 许伟伟 昌路 吉争鸣 陆殷华 陈健 吴培亨 
国家自然科学基金项目(10874074;60571007);江苏省重点基金(BK2007713)资助
采用电子束蒸发的方法在Si片上制备超导铝(Al)薄膜。利用X射线衍射和直流四电极电阻法分别测试了厚度从100埃到5000埃的Al薄膜物向组成,超导转变温度(Tc)和临界电流密度(Jc)。当Al薄膜厚度大于500埃时,超导转变温度Tc=1.2K。电子束蒸发...
关键词：电子束蒸发 Al薄膜 铝超导隧道结 
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