何文彦

作品数：1被引量：4H指数：1
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供职机构：同济大学更多>>
发文主题：残余应力薄膜光学干涉仪反射光激光损伤更多>>
发文领域：机械工程理学医药卫生一般工业技术更多>>
发文期刊：《红外与激光工程》更多>>
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电子束蒸发SiO_2薄膜残余应力在不同湿度环境下的对比被引量：4
《红外与激光工程》2012年第3期713-717,共5页叶晓雯 丁涛 程鑫彬 沈正祥 王孝东 刘永利 鲍刚华 何文彦 
国家863计划;上海市博士后资助计划(10R21416000)
采用电子束蒸发方法在BK7基底上制备SiO2单层膜,通过台式探针轮廓仪分别测量了大气(45%RH)和干燥环境(5%RH)中不同沉积温度下制备的SiO2单层膜残余应力,同时使用分光光度计和原子力显微镜对样品的折射率和表面形貌进行研究。测试结果表...
关键词：SiO2单层膜 沉积温度 残余应力 由水诱发的应力 折射率 表面形貌 
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