刘玲

作品数：1被引量：1H指数：1
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TMAH腐蚀液的研究被引量：1
《微电子学与计算机》2003年第10期45-47,共3页沈桂芬 姚朋军 张宏 刘玲 张宏庆 范军 
TMAH是一种新型的、性能优异的各向异性腐蚀液。文章通过大量对比实验,对该腐蚀液用于<100>、<111>单晶Si片不同电阻率、不同晶向的样品研究了粗糙度和腐蚀速率,得出重要结论。此研究对正确使用TMAH腐蚀液有重要指导意义。
关键词：TMAH 腐蚀液 粗糙度 腐蚀速率 各向异性 
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