孙宏波

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：浙江大学光电信息工程学系现代光学仪器国家重点实验室更多>>
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基于光谱法的晶体厚度测量被引量：1
《光学仪器》2003年第1期3-7,共5页孙宏波 贺银波 吴国忠 曾广杰 余飞鸿 
国家自然科学基金项目 ( 60 1770 13 ) ;宁波市科委-浙大专项资金资助项目
首次提出利用光谱特性来确定晶体厚度。从理论上推导出其实现的可行性 ,然后结合实验分析了测量系统的具体实现过程及计算厚度的算法 ,并分析了影响测量精度的主要因素。
关键词：晶体厚度测量 光谱法 测量精度 
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