张奎

作品数:3被引量:4H指数:1
导出分析报告
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文主题:激光直写超分辨激光显影液SB更多>>
发文领域:电子电信化学工程更多>>
发文期刊:《光学学报》《中国激光》更多>>
所获基金:国家自然科学基金中国科学院院地合作项目国家重点基础研究发展计划博士科研启动基金更多>>
-

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
条 记 录,以下是1-2
视图:
排序:
In掩膜层超分辨光盘的读出研究
《中国激光》2012年第6期161-165,共5页张奎 耿永友 施宏仁 
国家自然科学基金(61137002);中国科学院院地合作项目资助课题
在超分辨光存储技术中,掩膜层材料是决定其性能优劣的关键。In薄膜可以作为掩膜层用来实现超分辨信息点的动态读出。采用直流磁控溅射法制备不同厚度的In薄膜,用台阶仪测量薄膜厚度随时间的变化关系,用原子力显微镜观察不同厚度薄膜样...
关键词:薄膜 超分辨 In掩膜 载噪比 
膜厚对Sb_2Te_3薄膜光学性质的影响被引量:4
《光学学报》2011年第12期299-303,共5页张奎 耿永友 吴谊群 顿爱欢 李豪 
国家973计划(2007CB935402);国家自然科学基金(50872139);中国科学院院地合作项目资助课题
超分辨近场结构光存储技术(Super-RENS)是一种利用功能薄膜结构实现突破光学衍射极限的信息点记录和读取的新技术,作为超分辨光盘结构的掩膜材料是决定其性能的关键。利用透射电子显微镜研究了可作为超分辨光盘掩膜层Sb2Te3薄膜的晶态...
关键词:薄膜 超分辨近场结构 Sb2Te3薄膜 光学性质 膜厚 临界值 
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部