李晓红

作品数：1被引量：8H指数：1
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供职机构：辽宁师范大学物理与电子技术学院更多>>
发文主题：鞘层球心电极等离子体源流体动力学模型更多>>
发文领域：理学金属学及工艺更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》更多>>
所获基金：表面物理与化学国家重点实验室开放基金更多>>
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球心处有附加电极的半圆形容器等离子体源离子注入过程中鞘层的时空演化被引量：8
《真空科学与技术学报》2008年第5期415-419,共5页刘成森 李晓红 王德真 刘天伟 
表面物理与化学国家重点实验室基金(No.90000460200606)资助的课题
本文利用两维流体模型研究了半圆形容器在放置共心零电位附加电极情况下,等离子体源离子注入的离子鞘层时空演化动力学过程。考察了鞘层内随时间变化的电势分布和离子密度分布,计算了容器内外表面的离子束流密度分布和注入剂量分布随时...
关键词：半圆形容器 等离子体源离子注入 鞘层演化 
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