熊恒

作品数：2被引量：1H指数：1
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供职机构：西安飞行自动控制研究所更多>>
发文主题：LINBO集成光学铌酸锂波导退火质子交换折射率分布更多>>
发文领域：电子电信机械工程更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》《半导体光电》更多>>
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缓冲质子源LiNbO_3波导折射率计算及实验被引量：1
《半导体光电》2017年第4期546-550,556,共6页王健 余才佳 纪引虎 熊恒 闫鑫 
中航工业集团公司创新基金项目(2011D61818)
为实现铌酸锂退火质子交换(APE)波导折射率分布的准确计算,选择含苯甲酸锂的苯甲酸缓冲液作为质子交换质子源,高温退火制作了波导样本。针对该工艺过程建立退火质子交换波导模型,包括非线性扩散模块和光学数值仿真模块,分别计算APE波导...
关键词：集成光学 退火质子交换 铌酸锂波导 折射率分布 
深槽刻蚀工艺中lag效应的研究(英文)
《微纳电子技术》2013年第3期177-183,共7页宋运康 滕霖 熊恒 
International Cooperation in Science and Technology(2011DFA72370);National High Technology Research and Development Program(863Program)(2011AA110102)
等离子体深刻蚀技术是MEMS制备的关键,利用该技术进行刻蚀时,会出现lag效应和反常lag效应,严重影响器件的性能。为了消除lag效应,建立刻蚀和钝化模型分析lag的产生,并利用ARDE表征lag。采用"四因子-三水平"的正交实验研究不同工艺参数对...
关键词：等离子体深刻蚀(DRIE) 微电子机械系统(MEMS) lag效应 反常lag效应 平衡模型 正交实验 
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