王文军

作品数：3被引量：7H指数：2
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供职机构：中国科学院物理研究所更多>>
发文主题：籽晶碳化硅单晶石墨坩埚单晶生长更多>>
发文领域：理学一般工业技术电子电信化学工程更多>>
发文期刊：《中国科学院院刊》《人工晶体学报》更多>>
所获基金：北京市科技计划项目广东省自然科学基金更多>>
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利用干燥空气改善熔融KOH对单晶碳化硅的腐蚀被引量：1
《人工晶体学报》2023年第5期753-758,共6页孙帅 宋华平 杨军伟 王文军 屈红霞 简基康 
广东省自然科学基金-面上项目(2022A1515012628)。
本文提出了一种改进的氢氧化钾(KOH)腐蚀方法,该方法利用鼓泡器将干燥空气直接通入熔融KOH中,以达到快速排出熔融KOH中水分和增强溶解氧的目的。本研究通过提升部分潮解的KOH对低掺杂n型外延片的腐蚀效果和纯KOH对高掺杂n型衬底的腐蚀效...
关键词：碳化硅 腐蚀 位错 缺陷表征 鼓泡器 腐蚀速率 
高温溶液法生长SiC单晶的研究进展被引量：2
《人工晶体学报》2022年第1期3-20,共18页王国宾 李辉 盛达 王文军 陈小龙 
北京市科技计划项目(Z201100004020003,Z161100002116018,Z211100004821004)。
碳化硅(SiC)作为第三代半导体材料,不仅禁带宽度较大,还兼具热导率高、饱和电子漂移速率高、抗辐射性能强、热稳定性和化学稳定性好等优良特性,在高温、高频、高功率电力电子器件和射频器件中有很好的应用潜力。高质量、大尺寸、低成本...
关键词：宽禁带半导体 碳化硅 高温溶液法 顶部籽晶溶液法 助熔剂 晶体生长 
全链条科技创新周期初探--以中国科学院物理研究所碳化硅研究为例被引量：4
《中国科学院院刊》2020年第6期771-778,共8页文亚 王文军 朱春丽 强振宏 
全链条科技创新涉及科研机构、企业、政府乃至整个社会,目标是形成自主关键核心技术,乃至形成技术标准体系,推动产业的发展。全链条科技创新的能力及效率是衡量创新型社会生态的重要标准,创新周期是重要的表征标准之一。国立研究机构在...
关键词：全链条科技创新 诺贝尔奖 创新周期 碳化硅 案例研究 
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