盛明裕

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供职机构：复旦大学信息科学与工程学院光科学与工程系更多>>
发文主题：光子电子束蒸发等离子体辅助SIO光谱更多>>
发文领域：理学一般工业技术更多>>
发文期刊：《红外与毫米波学报》更多>>
所获基金：上海市教育委员会创新基金更多>>
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等离子体辅助电子束蒸发低温制备SiO_2纳光子薄膜
《红外与毫米波学报》2011年第3期237-241,共5页盛明裕 赵源 刘富强 胡巧多 郑玉祥 陈良尧 
上海市教委创新项目(10YZ213)
SiO2纳光子薄膜在光伏领域、纳光子和微电子学领域里有着广泛的应用.采用等离子体辅助电子束蒸发方法在低温条件下制备SiO2/Si纳光子薄膜样品,通过椭圆偏振光谱分析法研究薄膜光学性质随3种工艺条件(生长速率、衬底温度和射频等离子辅...
关键词：等离子体辅助 电子束蒸发 纳光子薄膜 
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