聂鲁燕

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供职机构：天津大学精密仪器与光电子工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室更多>>
发文主题：步进电动机压电陶瓷微装配更多>>
发文领域：核科学技术机械工程更多>>
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微装配中微靶球的三维移动
《制造技术与机床》2006年第2期73-76,共4页聂鲁燕 裘祖荣 幺春娟 洪昕 
国家863探索基金项目(2003AA84ts05)
设计了一种用于惯性聚变的微靶球三维移动装置。采用CCD显微镜检测实现闭环装配以保证精度;由电控平移台作为粗动环节,压电陶瓷作为微动环节而形成的两级微动机构可以实现最小分辨力为0.1μm的微位移;直线+旋转执行器的旋转/线性移动实...
关键词：压电陶瓷 步进电动机 微装配 
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