赵伟杰

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用FTMS方法制备Co／Cu巨磁阻超晶格多层薄膜
《无机材料学报》1995年第4期498-502,共5页曾宪庭 赵伟杰 费杨 黄康权 
本文用双靶相对磁控溅射法（ＦＴＭＳ）在云母单晶基板上原位生长了巨磁阻Ｃｏ／Ｃｕ超晶格薄膜，研究了放电气压及背景真空对薄膜结构和电磁性质的影响．结果表明，在优化溅射沉积条件下生长的超晶格薄膜，具有很好的［１１１］择优取...
关键词：巨磁阻 超晶格 多层薄膜 钴 铜 FTMS法 
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