顾雅华

作品数：1被引量：6H指数：1
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供职机构：北京师范大学核科学与技术学院低能核物理研究所更多>>
发文主题：氮化硅薄膜退火过程太阳电池等离子增强化学气相沉积更多>>
发文领域：电气工程更多>>
发文期刊：《北京师范大学学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：北京市科技新星计划更多>>
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PECVD沉积氮化硅薄膜在退火过程中的特性变化及在太阳电池中的应用被引量：6
《北京师范大学学报（自然科学版）》2004年第2期221-223,共3页叶小琴 许颖 李艳 顾雅华 周宏余 王文静 
北京市科技新星计划资助项目 (H0 2 0 82 14 80 130 )
采用等离子体增强化学气相沉积 (PECVD) ,在单晶硅衬底上生长氮化硅 (SiN)薄膜 ,再对薄膜进行快速热退火处理 ,研究了在不同温度下SiN薄膜的退火特性 .通过椭圆偏振光仪测量了薄膜厚度和薄膜的折射率 ,发现退火后薄膜的厚度下降 ,折射...
关键词：氮化硅薄膜 等离子增强化学气相沉积 太阳电池 
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