马云飞

作品数：2被引量：8H指数：2
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供职机构：北京工业大学更多>>
发文主题：试件半导体光电器件雪崩二极管欧姆接触电极波导更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《电子科技》《半导体光电》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
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硅基雪崩光电探测器倍增层掺杂的研究被引量：2
《半导体光电》2014年第6期973-976,共4页崔文凯 武华 马云飞 周弘毅 郭霞 
国家自然科学基金项目(61222501;61335004);高等学校博士学科点专项科研基金项目(20111103110019)
硅基雪崩光电探测器的器件性能与倍增层的掺杂浓度有着密切联系。研究了硅基雪崩光电探测器倍增层的掺杂浓度对雪崩击穿电压和光谱响应度等特性的影响。在硼的注入剂量由5.0×1012 cm-2减小为2.5×1012cm-2时,倍增层内电场强度逐渐降低...
关键词：SI APD 拉通 雪崩击穿电压 光谱响应 
硅片表面粗糙度对界面态的影响被引量：6
《电子科技》2013年第9期50-53,共4页陈树华 武华 周弘毅 崔文凯 马云飞 郭霞 
国家自然科学基金资助项目(61076048)
针对硅片研磨和抛光产生的亚表面损伤层会影响载流子寿命及界面态的特点,采用机械减薄、机械抛光、化学机械抛光(CMP)制备出不同粗糙度的样品。通过傅里叶红外透射谱分析和C-V测试分析表明,粗糙度大的硅片表面因表面损伤大,具有更低的...
关键词：粗糙度 界面态 傅里叶变换红外透射谱 C—V测试 
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