刘晓波

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：中国核工业集团公司核工业西南物理研究院更多>>
发文主题：镀膜机柔性基材磁控溅射镀膜起皱更多>>
发文领域：轻工技术与工程一般工业技术航空宇航科学技术更多>>
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多功能复合离子镀膜机的研制被引量：1
《真空》2005年第1期36-38,共3页陈庆川 童洪辉 崔西蓉 刘晓波 耿漫 王经权 
国家863课题资助;课题编号:2001AA338010
详细介绍了一台我院新近研制的多功能复合离子镀膜机。该机配有柱弧源、电磁控大面积弧源、小多弧源,使得在不同材质的工件上原位连续镀制各种多层膜及复合化合物膜;偏压电源采用我院自行开发的叠加式直流脉冲偏压开关电源,使用该电源...
关键词：多功能复合离子镀膜机 叠加式直流脉冲偏压开关电源 远离平衡态 PLC 自动控制 
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