耿漫

作品数：22被引量：61H指数：4
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供职机构：深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心更多>>
发文主题：离子注入表面改性等离子体源等离子体PSII更多>>
发文领域：金属学及工艺一般工业技术理学电子电信更多>>
发文期刊：《材料热处理学报》《中国核科技报告》《核聚变与等离子体物理》《物理》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划国防科技重点实验室基金国家自然科学基金深圳市科技计划项目更多>>
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离子渗氮新技术的研究现状被引量：19
《热加工工艺》2007年第6期61-64,80,共5页龙发进 周祎 康光宇 李鑫鸿 耿漫 
广东省科技研究项目(2004B16001206)
为了克服传统离子渗氮的一些固有缺点,近些年来出现一些新的离子渗氮技术,如活性屏离子渗氮、等离子体源离子渗氮、离子注入离子渗氮等,本文简要介绍了这些新技术及其原理、特点,总结了这类技术的共性模型。其中,活性屏离子渗氮技术和...
关键词：离子渗氮 活性屏 等离子体源 离子注入 
中频孪生靶非平衡磁控溅射制备Ti/TiN/Ti(N,C)黑色硬质膜被引量：4
《真空与低温》2006年第1期15-18,22,共5页马胜歌 吴宇峰 耿漫 
国家863计划资金项目(2001AA338010)资助
利用自制的等离子体增强型渗注镀复合处理设备上的非平衡磁控溅射功能,在不同硬度基底上制备了Ti/TiN/Ti(N,C)多层复合膜。膜呈深黑色,表面光滑平整,可见光区反射率在8.2%～10.2%之间,亮度L=38.01,沉积速率约为1.21μmh。膜的硬度测试...
关键词：黑色硬质膜 非平衡磁控溅射 Ti(N C) 中频反应溅射 孪生靶 
多功能复合离子镀膜机的研制被引量：1
《真空》2005年第1期36-38,共3页陈庆川 童洪辉 崔西蓉 刘晓波 耿漫 王经权 
国家863课题资助;课题编号:2001AA338010
详细介绍了一台我院新近研制的多功能复合离子镀膜机。该机配有柱弧源、电磁控大面积弧源、小多弧源,使得在不同材质的工件上原位连续镀制各种多层膜及复合化合物膜;偏压电源采用我院自行开发的叠加式直流脉冲偏压开关电源,使用该电源...
关键词：多功能复合离子镀膜机 叠加式直流脉冲偏压开关电源 远离平衡态 PLC 自动控制 
三柱靶磁控溅射镀膜机在工艺品装饰镀中的应用被引量：1
《真空》2004年第5期42-44,共3页马胜歌 康光宇 耿漫 
将三柱靶磁控溅射镀膜机应用于工艺品装饰镀生产中,开发多种镀膜工艺并进行了批量生产,实践证明:三柱靶磁控溅射镀膜技术结合特制的衬底漆和保护面漆涂装工艺,能够在工艺品上获得合格的装饰层。拓展该技术在工艺品行业的应用,可有效减...
关键词：磁控溅射 圆柱靶 装饰镀 工艺品 
全方位离子注入及增强沉积工业机和应用被引量：2
《核技术》2002年第9期684-689,共6页童洪辉 陈庆川 霍岩峰 王珂 穆莉兰 冯铁民 赵军 严兵 耿漫 
报道了等离子体源离子注入 (PSII)或等离子体浸没离子注入 (PIII)及增强沉积工业机的实验结果及应用。该机真空室直径 90 0mm ,高 10 5 0mm ,立式放置 ,抽气系统由分子泵及机械泵构成并且实现了PLC控制 ,本底真空小于 4× 10 - 4Pa。等...
关键词：增强沉积工业机 全方位离子注入 金属等离子体源 表面改性 金属材料 
升温Ta+N双注入对硬质合金性能的影响被引量：3
《核聚变与等离子体物理》2002年第1期61-64,共4页赵青 任文静 耿漫 
国防科技重点实验室基金资助项目 (98JS5 0 3 3HZ5 80 1)
利用升温离子注入技术 ,在PSII装置中实现了N +Ta双注入对硬质合金的有效表面改性 ,注入剂量为8× 10 1 7ions·cm- 2 ,注入表面温度分别为 10 0℃和 40 0℃。用显微硬度计测定硬度 ,表明试样表面显微硬度均有提高 ,其中 40 0℃试样表...
关键词：硬质合金 N+Ta双元注入 温度 升温离子注入 氮 钽 表面改性 
温度对离子注入Ti6Al4V表面改性影响被引量：2
《中国表面工程》2001年第4期36-39,共4页赵青 童洪辉 莫志涛 唐德礼 耿漫 郑永真 
国防科技重点实验室基金(98JS50.3.3 HZ5801)
对Ti6Al4V 合金进行温度范围从100 ℃到600 ℃,注入剂量为:4×1017ions.cm-2氮离子等离子体源离子注入(N-PSII)。用俄歇电子能谱仪(AES)对注入样品进行元素深度分布剖面分析。用显微硬度及针盘磨损试验机测试表面改性的效果。利用X 射...
关键词：离子注入 表面改性 钛合金 温度 
升温离子注入对医用材料Ti6A14V表面改性影响
《材料热处理学报》2001年第3期83-85,共3页赵青 赵峰 耿漫 
国防科技重点实验室基金 ( 98JS5 0 .3.3HZ5 80 1 )资助
对Ti6A1 4V合金进行温度范围从 1 0 0℃到 6 0 0℃ ,注入剂量为 4× 1 0 1 7ions.cm- 2 氮离子等离子体源离子注入 (N-PSII)。用俄歇能谱仪 (AES)对注入样品进行元素深度分布剖面分析。用显微硬度计及针盘磨损试验机测试表面改性的效果...
关键词：温度 磨损 TI6A14V合金 
全方位离子注入技术的工业应用
《材料导报》2001年第2期61-61,共1页耿漫 
“全方位离子注入技术的工业应用”课题,“九五”期间主要完成了PSⅡ-IM工业样机改造(包括靶台的优化设计,计算机开环控制系统的完善,脉冲负高压电源的改造,磁过滤金属等离子体源引出效率的提高,平面磁控溅射靶的优化等),物理基础研究(...
关键词：全方位粒子注入技术 火箭 液压泵 配流盘 
双元检测法动态测定PSII靶温度被引量：4
《核聚变与等离子体物理》2000年第3期185-188,共4页赵青 耿漫 童洪辉 陈庆川 霍岩峰 孙爱萍 穆莉兰 郑永真 
国防科技重点实验室基金!资助项目(98JS50.3.3HZ5 801)
研制了快速、准确、简单地测定 PSII靶温度的系统 ,提出了用双元检测法动态测量PSII靶温度的方法。实验表明 ,双元检测法测量温度准确、可靠 ,且测温系统成本低、稳定性好。
关键词：PSП 双元检测法 靶温度 
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