严兵

作品数：1被引量：2H指数：1
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供职机构：中国核工业集团公司核工业西南物理研究院更多>>
发文主题：全方位离子注入表面改性金属材料更多>>
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全方位离子注入及增强沉积工业机和应用被引量：2
《核技术》2002年第9期684-689,共6页童洪辉 陈庆川 霍岩峰 王珂 穆莉兰 冯铁民 赵军 严兵 耿漫 
报道了等离子体源离子注入 (PSII)或等离子体浸没离子注入 (PIII)及增强沉积工业机的实验结果及应用。该机真空室直径 90 0mm ,高 10 5 0mm ,立式放置 ,抽气系统由分子泵及机械泵构成并且实现了PLC控制 ,本底真空小于 4× 10 - 4Pa。等...
关键词：增强沉积工业机 全方位离子注入 金属等离子体源 表面改性 金属材料 
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