张春辉

作品数：1被引量：2H指数：1
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供职机构：浙江大学更多>>
发文主题：旋涂胶层厚度激光直写光刻曲面球面更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《光电子．激光》更多>>
所获基金：中国航空科学基金国家自然科学基金更多>>
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球面旋涂胶层厚度分布模型及其实验研究被引量：2
《光电子．激光》2009年第4期470-474,共5页陈龙江 罗剑波 梁宜勇 张春辉 杨国光 
国家自然科学基金资助项目(60678037);航空科学基金资助项目(20070112001)
创建一种光刻胶离心式旋涂过程中基于流体力学分析的凸面胶厚分布及胶厚均匀性模型,根据曲面流体运动方程以及凸面基片的面型特征得到了凸面恒速甩胶过程中胶层厚度的分布公式,结合凸面流体层流条件和牛顿流体的质量连续方程推导出胶厚...
关键词：激光直写光刻(LDW) 曲面甩胶 胶厚分布 胶层均匀性 
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