张瑜

作品数：1被引量：7H指数：1
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供职机构：中国科学院研究生院更多>>
发文主题：硅钝化处理退火处理等离子体异质结太阳电池更多>>
发文领域：理学更多>>
发文期刊：《人工晶体学报》更多>>
所获基金：北京市科技计划项目国家重点基础研究发展计划更多>>
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硅异质结电池界面处理关键工艺的研究被引量：7
《人工晶体学报》2013年第2期235-239,共5页王楠 张瑜 周玉琴 
北京市科技计划(D121100001812003);国家重点基础研究计划(973计划)(2011CBA00705)
薄膜硅/晶体硅异质结(HIT)太阳电池是界面器件,其界面性质直接决定器件的性能。本文采用简化的RCA清洗并结合氧化膜保护工艺对硅片进行前期处理;采用等离子体增强化学气相沉积技术(PECVD)制备薄膜硅/晶体硅异质结;通过光发射谱(OES)研究...
关键词：硅异质结太阳电池 钝化处理 等离子体初期不稳性 退火处理 界面特性 
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