彭韶华

作品数：3被引量：13H指数：2
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供职机构：东南大学更多>>
发文主题：CMOS工艺兼容聚酰亚胺氧化层极板CMOS更多>>
发文领域：自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《Journal of Semiconductors》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划江苏省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
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CMOS工艺兼容的单片集成湿度传感器被引量：3
《Journal of Semiconductors》2006年第2期358-362,共5页彭韶华 黄庆安 秦明 张中平 
国家高技术研究发展计划(批准号:2004AA404030);国家自然科学基金(批准号:60476019);江苏省自然科学基金(批准号:BK2003052)资助项目~~
设计并制备了一个CMOS工艺兼容的集成湿度传感器，将湿度传感器与CMOS测量电路集成在同一芯片上．片上集成的湿度传感器为叉指电容式，感湿介质为聚酰亚胺，本文给出了相应的感湿模型-针对湿度传感器在全量程电容变化量较小的特点，本...
关键词：开关电容电路 聚酰亚胺 CMOS兼容工艺 湿度传感器 
CMOS工艺兼容的温湿度传感器被引量：11
《Journal of Semiconductors》2005年第7期1428-1433,共6页彭韶华 黄庆安 秦明 张中平 
国家高技术研究发展计划资助项目(批准号:2004AA404030)~~
设计并制备了一个CMOS工艺兼容的温湿度传感器,讨论了感湿理论模型并用COVENTOR软件进行了模拟,给出了具体的结构参数及工艺制作步骤,最后对温湿度传感器进行了测量,对理论值和实际测量值做了比较并给出了分析结果.结果表明,传感器在25...
关键词：温湿度传感器 聚酰亚胺 电容型 CMOS 
接触电容式压力传感器的设计与模拟
《传感器技术》2003年第12期78-80,共3页彭韶华 周闵新 秦明 黄庆安 
针对大气测量的气压计应用,根据接触电容式压力传感器的工作原理,优化设计了绝对压力传感器的圆形膜结构。通过有限元分析软件ANSYS进行了验证,最后讨论了这种结构的非线性度。
关键词：接触电容式压力传感器 圆形膜结构 ANSYS 非线性度 气压计 
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