曾豪

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供职机构：上海交通大学材料科学与工程学院金属基复合材料国家重点实验室更多>>
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非晶Si_3N_4在ZrN/Si_3N_4多层膜中的赝晶晶化和生长
《电子显微学报》2006年第B08期93-94,共2页刘艳 董云杉 曾豪 李戈扬 
国家自然科学基金资助项目(No.50571062)
关键词：纳米多层膜 SI3N4 外延生长 非晶态 ZRN 晶化 模板效应 TiN 
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