樊明哲

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供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
发文主题：浸没式ARF光刻有限元ARF浸没式热性能分析更多>>
发文领域：电子电信更多>>
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浸没式ArF曝光过程中液体热性能分析
《微细加工技术》2007年第3期13-17,共5页樊明哲 李艳秋 
国家自然科学基金资助项目(10674134);973计划资助项目(2003CB716204)
浸没式ArF曝光系统在最后一面物镜和晶圆之间引入液体作为成像介质。曝光过程中,液体存在热分布变化,并引起液体折射率的改变,导致光刻性能下降,因此,有必要确定液体热分布变化的情况。应用有限元方法,建立二维模型,分析液体在不同进口...
关键词：浸没式ARF光刻 液体 热分布 有限元 
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