王丛香

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薄膜微波电路制造新工艺
《混合微电子技术》2001年第2期50-52,共3页王丛香 刘刚  
介绍了薄膜微波电路制造的新工艺,包括一次性蒸厚铜工艺和表面金属化的铬层钝化镀金、化学镀镍/化学镀金工艺。将此新工艺用于L波段低噪声放大器电桥的制造和高功率开关的研制,取得了满意的效果。
关键词:集成电路 制造工艺 薄膜微波电路 
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