石明金

作品数：2被引量：1H指数：1
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PtSi单片式红外CCD
《半导体光电》1989年第3期6-10,共5页石明金 
本文讨论单片式 PtSi—Si(p)SB IRCCD 的工作机理、芯片结构、制备工艺及其性能改善,该器件适用于3～5μm 红外光谱区的热成像。本文还讨论了带新型光学共振腔结构的 PtSi 肖特基势垒光探测器阵列的制作与特性,最后介绍了该两维红外焦...
关键词：CCD 光探测器 结构 成像 
PVD A1膜制备及其在PtSi SBIR-CCD中的应用被引量：1
《半导体光电》1987年第2期-,共5页石明金 
本文重点讨论PVD高纯Al膜制备工艺参数的选择和特性,接着介绍其应用和存在的问题及解决的方法。
关键词：Al SI AI PVD A1 PtSi SBIR-CCD 膜制备 
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