蓝雷雷

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：延边大学更多>>
发文主题：磁性氮化铝薄膜N纳米材料凝聚态物理更多>>
发文领域：理学一般工业技术更多>>
发文期刊：《物理学报》更多>>
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FeMn掺杂AlN薄膜的制备及其特性研究被引量：1
《物理学报》2013年第21期363-369,共7页蓝雷雷 胡新宇 顾广瑞 姜丽娜 吴宝嘉 
国家自然科学基金(批准号:51272224;11164031)资助的课题~~
采用直流磁控共溅射技术,以Ar与N2为源气体,硅片为衬底成功地制备了Fe,Mn掺杂AlN薄膜.利用X射线衍射和拉曼光谱研究了工作电流、靶基距离等工艺参数的改变对薄膜结构的影响.利用扫描电子显微镜和能谱分析仪对薄膜的表面形貌和组成成分...
关键词：直流磁控共溅射 氮化铝薄膜 结构 磁性 
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