谢飞

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杜洛埃有机介质上集成薄膜电阻工艺研究
《电子工艺技术》2015年第2期94-96,101,共4页秦跃利 高能武 谢飞 
杜洛埃有机介质广泛应用于高频微波集成电路,由于材料表面固有特性而增加了集成薄膜电阻的难度。通过改变杜洛埃介质表面的形貌获得良好的平滑表面,并采用薄膜电路制造工艺,实现了在无铜箔的杜洛埃介质上制作微波混合集成电路。已成功...
关键词：杜洛埃材料 薄膜 集成电阻 
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