万正芬

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：浙江大学更多>>
发文主题：氧化铟射频磁控溅射表面等离子体表面形貌X射线衍射更多>>
发文领域：化学工程理学电子电信更多>>
发文期刊：《无机材料学报》更多>>
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氧化铟薄膜制备及其特性研究被引量：1
《无机材料学报》2010年第2期141-144,共4页原子健 朱夏明 王雄 张莹莹 万正芬 邱东江 吴惠桢 杜滨阳 
国家自然科学基金(60676003);浙江省自然科学基金(Z406092)
采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备氧化铟薄膜,通过测试原子力显微镜、X射线衍射、X射线光电子谱、紫外可见分光光度计以及霍尔效应,研究了氧化铟薄膜的结构和光、电特性.实验发现,氧化铟薄膜表面粗糙度随着生长温度的升高而增大.X射...
关键词：氧化铟 射频磁控溅射 表面形貌 X射线衍射 电学特性 
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