原子健

作品数：5被引量：9H指数：2
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供职机构：浙江大学更多>>
发文主题：磁控溅射氧化铟电学特性场效应迁移率薄膜晶体管更多>>
发文领域：电子电信理学化学工程更多>>
发文期刊：《无机材料学报》《红外与激光工程》《物理学报》《人工晶体学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金浙江省自然科学基金国家重点基础研究发展计划浙江省教育厅科研计划更多>>
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氧化锌锡薄膜晶体管的研究被引量：2
《物理学报》2011年第3期626-629,共4页王雄 才玺坤 原子健 朱夏明 邱东江 吴惠桢 
国家自然科学基金(批准号:10974174);国家重点基础研究发展计划项目(批准号:2011CB925603);浙江省自然科学基金(批准号:Z6100117,Y4080171)资助的课题~~
在ITO玻璃基底上用射频磁控溅射技术生长氧化锌锡(ZnSnO)沟道有源层、用PECVD生长SiO2薄膜作为薄膜晶体管的栅绝缘层研制了薄膜晶体管(TFT),器件的场效应迁移率最高达到μn=9.1cm2/(V·s),阈值电压-2V,电流开关比为104.
关键词：氧化锌锡 薄膜晶体管 场效应迁移率 
磁控溅射气体参数对氧化铟薄膜特性的影响被引量：3
《人工晶体学报》2011年第1期17-21,共5页才玺坤 原子健 朱夏明 张兵坡 邱东江 吴惠桢 
国家自然科学基金(10974174)资助项目;浙江省自然科学基金(Z6100117)资助项目
采用射频磁控溅射法生长氧化铟薄膜,研究了溅射气压和溅射气体对氧化铟薄膜结构及光电特性的影响。X射线衍射结果表明制得的薄膜为立方结构的多晶体,随着溅射气压的升高,薄膜晶粒尺寸变大。1 Pa下沉积的氧化铟薄膜具有最大的迁移率和最...
关键词：IN2O3 磁控溅射 溅射气压 电学特性 氧空位 
In_2O_3透明薄膜晶体管的制备及其电学性能的研究被引量：2
《物理学报》2010年第7期5018-5022,共5页徐天宁 吴惠桢 张莹莹 王雄 朱夏明 原子健 
国家自然科学基金(批准号:60676003);浙江省自然科学基金(批准号:Z406092)资助的课题~~
采用磁控溅射方法在玻璃衬底上生长了In2O3晶体薄膜.该薄膜具有(111)晶面择优取向,晶粒尺寸达到33nm.利用光刻工艺制作了以In2O3晶体薄膜为沟道层的底栅式薄膜晶体管.In2O3薄膜晶体管具有良好的栅压调制特性,场效应迁移率达到6.3cm2/(V...
关键词：In2O3晶体薄膜 磁控溅射 薄膜晶体管 场效应迁移率 
ZnO:Ag薄膜的生长及电学性质研究被引量：1
《红外与激光工程》2010年第4期702-705,共4页隋成华 徐天宁 郑东 蔡霞 夏娟 原子健 
国家自然科学基金资助项目(60777034);浙江省教育厅资助项目(Y200803369)
p-型ZnO材料因在紫外光电器件方面的潜在应用价值而受到人们的广泛关注。采用反应电子束蒸发法在白宝石上生长了ZnO：Ag薄膜,生长温度范围从150~250°C。研究表明：在该温度范围生长的ZnO：Ag薄膜具有n-型导电特征,但通过退火可以实现p...
关键词：p-型导电 ZNO薄膜 AG2O 反应电子束蒸发 
氧化铟薄膜制备及其特性研究被引量：1
《无机材料学报》2010年第2期141-144,共4页原子健 朱夏明 王雄 张莹莹 万正芬 邱东江 吴惠桢 杜滨阳 
国家自然科学基金(60676003);浙江省自然科学基金(Z406092)
采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备氧化铟薄膜,通过测试原子力显微镜、X射线衍射、X射线光电子谱、紫外可见分光光度计以及霍尔效应,研究了氧化铟薄膜的结构和光、电特性.实验发现,氧化铟薄膜表面粗糙度随着生长温度的升高而增大.X射...
关键词：氧化铟 射频磁控溅射 表面形貌 X射线衍射 电学特性 
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