何韦均

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供职机构：华中科技大学更多>>
发文主题：磁路结构表面轮廓仪MAXWELLANSOFT接触式测量更多>>
发文领域：机械工程金属学及工艺更多>>
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所获基金：国家重点基础研究发展计划湖北省自然科学基金更多>>
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柱面衍射光栅小转角精密测量方法的研究
《武汉理工大学学报》2010年第15期72-75,共4页张新宝 杨增辉 何韦均 
国家973项目(2007CB714005);湖北省自然科学基金(2009CDB181)
为了实现小转角测量,采用柱面全息衍射光栅干涉型的方法。此方法用光学机械结构直接保证了2个相差90°的信号,同时在单一的光栅上出现的是单一光扫描场。理论分析证明此测量系统具有包容结构误差性能好的特点,当测量范围±5.11°时,测...
关键词：全息衍射光栅 转角 光干涉 精密测量 柱面 
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