如菲

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氧和铒共注入硅的卢瑟福背散射和发光研究
《发光学报》1996年第4期346-350,共5页李仪 宋航 曹望和 李菊生 金亿鑫 如菲 孟鸣岐 刘向东 
国家自然科学基金;中国科学院基金资助课题
将铒和氧共注人硅中,卢瑟福背散射分析表明,退火后铒的分布剖面因共注入氧的剂量而异。在高氧剂量下,退火后铒保持退火前的剖面不变,样品再结晶良好。在中等氧剂量下,退火后铒的分布剖面出现双峰。认为退火过程中形成了铒—氧复合物。...
关键词：铒 硅 背散射分析 发光 
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