潘雪飞

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硅片V型槽光纤-波导耦合器
《吉林工业大学学报》1991年第2期31-34,共4页杨文英 潘雪飞 
本文从硅晶体的结构说明V型槽形成的机理,该槽具有结晶学的平直、光滑、定位可控制在光刻精度的优点,经合理的方法较成功地实现了V型槽的制备,为光纤-波导的耦合提供较理想、稳定、低耗的器件。
关键词：集成光学器件 光纤 波导 耦合器 
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