王楷群

作品数:1被引量:5H指数:1
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供职机构:中北大学更多>>
发文主题:玻璃基氧化硅薄膜氮化硅薄膜高灵敏度红外探测器更多>>
发文领域:电子电信自动化与计算机技术更多>>
发文期刊:《传感技术学报》更多>>
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压阻式微加速度计灵敏度的温度特性研究被引量:5
《传感技术学报》2008年第9期1536-1540,共5页王楷群 张文栋 毛海央 
国家自然基金资助(50775209/E052502)
以压阻式微加速度计为研究对象,定量研究了环境温度对其灵敏度的影响。理论研究结果表明,压阻式微加速度计灵敏度的相对误差随着温度偏差绝对值的增大而增大;其中灵敏度误差在温度偏差为+20℃时达到-4.943%,在温度偏差为-20℃时达到4.9...
关键词:相对误差 温度偏差 迁移率 灵敏度 压阻式微加速度计 
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