范慧娟

作品数:1被引量:2H指数:1
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氢化硅薄膜光吸收近似特性研究被引量:2
《物理学报》2010年第11期8184-8190,共7页郭立强 丁建宁 杨继昌 王书博 叶枫 程广贵 凌智勇 范慧娟 袁宁一 王秀琴 
青蓝工程(批准号:2008-04);常州市工业科技攻关专项(批准号:CE2008014);常州市科技平台专项(批准号:CM2008301);江苏省科技支撑计划(批准号:BE20080030)资助的课题~~
利用等离子体化学气相沉积系统在直流电压源和射频源的双重激励下,以康宁7059玻璃为衬底制备了氢化硅薄膜.通过测定氢化硅薄膜Raman光谱,对薄膜微结构进行了表征;建立氢化硅薄膜的光吸收模型,计算出薄膜的光吸收系数和光学带隙,和实验...
关键词:氢化硅薄膜 光吸收系数 光吸收模型 
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