董国全

作品数：1被引量：4H指数：1
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发文主题：卢瑟福背散射抛光砷化镓GAAS更多>>
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GaAs抛光表面损伤的RBS研究被引量：4
《稀有金属》1998年第4期317-320,共4页董国全 万群 陈坚邦 
本文以卢瑟福离子背散射技术（ＲＢＳ）检测了半绝缘ＧａＡｓ（１００）化学机械抛光表面的微损伤状况，并以α台阶仪测量了抛光表面的粗糙度。研究了以胶体ＳｉＯ２和ＮａＯＣｌ溶液的混合液对ＧａＡｓ进行化学机械抛光方法中主要工艺...
关键词：抛光 砷化镓 晶片表面 表面损伤 卢瑟福背散射 
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