许波涛

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离子注入机大行程垂直扫描系统的研制
《微细加工技术》2008年第1期11-13,共3页肖仁耀 许波涛 
采用垂直扫描系统是离子注入机最常用的扫描方式之一,着重阐述了一种大行程垂直扫描系统的系统构成、设计思路和实现方法。经过实际使用证明,该系统提高了离子注入机机械扫描的可靠性和稳定性。
关键词：垂直扫描 气浮轴承 差压抽气 直线电机 
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