周凯

作品数:1被引量:3H指数:1
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供职机构:南京理工大学更多>>
发文主题:掺氮类金刚石薄膜微观结构电化学特性传感器节点充电方法更多>>
发文领域:自动化与计算机技术一般工业技术理学电子电信更多>>
发文期刊:《材料研究学报》更多>>
所获基金:中央高校基本科研业务费专项资金国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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PECVD制备掺氮类金刚石薄膜的电化学特性被引量:3
《材料研究学报》2014年第3期161-165,共5页周凯 柯培玲 汪爱英 邹友生 
国家重大基础研究计划2012CB933003;国家自然科学基金51371187;宁波市创新团队2011B81001;中央高校基本科研业务费专项资金30920130111019资助项目~~
利用混合离子束系统,通过辉光放电等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备出类金刚石薄膜(DLC)和掺氮类金刚石薄膜(N-DLC),用可见拉曼光谱、X射线光电子能谱和扫描探针显微镜表征薄膜微观结构和表面形貌,采用电化学工作站测量了薄膜...
关键词:无机非金属材料 PECVD N—DLC 微观结构 电化学性能 
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