孙莉

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：辽宁师范大学物理与电子技术学院更多>>
发文主题：HE辐照纳米压痕更多>>
发文领域：一般工业技术更多>>
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He^+辐照对非晶碳氢薄膜表面硬度的影响被引量：1
《功能材料》2013年第B06期67-70,共4页孙莉 范红玉 李梦轲 刘东平 杨德明 杨杞 牛金海 
国家自然科学基金资助项目(20803007;11175038;10875025)
在室温下,利用等离子体增强的化学气相沉积法(PECVD)在硅衬底上制备了非晶碳氢薄膜。采用100keV,剂量分别为1.0×1015、5.0×1015、5.0×1016和1.0×1017ions/cm2的He离子(He+)对非晶碳氢薄膜进行辐照实验。通过基于原子力显微镜(AFM)...
关键词：非晶碳氢薄膜 辐照 硬度 纳米压痕 
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