张鑫

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供职机构：中国科学院理化技术研究所更多>>
发文主题：波长可调谐非线性光学晶体光电子能谱仪相干光源准分子激光器更多>>
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发文期刊：《激光与光电子学进展》更多>>
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深紫外相干光源的最新进展
《激光与光电子学进展》2010年第3期5-5,共1页张鑫 王桂玲 陈创天 
国家重点基础研究项目(2004CB619001;2004CB619006);国家自然科学基金(50590402;50590404)资助课题
深紫外（DUV）相干光源是指能输出波长短于200nm相干辐射的光源，在超高分辨率光电子能谱仪的研制、半导体光刻技术、机械微加工以及生物基因工程等领域，有着重要的应用价值。虽然准分子激光器（如ArF和F2激光器）也能产生DUV相干光，...
关键词：相干光源 深紫外 准分子激光器 波长可调谐 非线性光学晶体 光电子能谱仪 生物基因工程 全固态激光器 
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